氮和氧都具有四极矩，氮气在沸石分子筛上的吸附能力比氧气强。因此，当空气在加压状态下通过装有沸石分子筛吸附剂的吸附床时，氮气被分子筛吸附，氧气因吸附较少，在气相中得到富集并流出吸附床，使氧气和氮气分离获得氧气。当分子筛吸附氮气至接近饱和后，停止通空气并降低吸附床的压力，分子筛吸附的氮气可以解吸出来，分子筛得到再生并重复利用。两个以上的吸附床轮流切换工作，便可连续生产出氧气。 氩气和氧气的沸点接近，两者很难分离，一起在气相得到富集。

压缩、深冷至液化,利用氧、氮组分的沸点不同,再通过精馏完成氧-氮混合物分离,低沸点组分氮与高沸点组分氧在精馏塔的塔盘进行质、热交换,氮不断地从液相中蒸发出去,同时使氧不断地从气相冷凝到液相,终实现氧、氮分离。双泵内压缩流程技术原理采用膨胀空气进下塔的模式。 空气中的主要组份是氮和氧，通过选择对氮和氧具有不同吸附选择性的吸附剂，设计适当的工艺过程，使氮和氧分离制得氧气。液氧从主冷抽出,由液氧泵压缩至用户所需的压力,经主换热器复热后进入用户管网。在主换热器中,正流压缩空气与被加压的液氧进行热交换,液氧在汽化、复热的同时,这股高压空气被冷却、液化。正流高压液化空气和经增压膨胀机膨胀降温后的空气一同进入下塔,参与精馏。简单地说,内压缩流程是用液氧泵加上空气增压机取代了外压缩流程的氧压机。

行业分法：偏重使用的参数：冶金型：化工型

代分法：代：铝带盘蓄冷器的高低压流程；第二代：铝带盘蓄冷器或石头蓄冷器的全低压流程；第三代：带产品气盘管的石头蓄冷器的全低压流程；第四代：切换板式主换热器的全低压流程；第五代：分子筛吸附、增压透平膨胀机、DCS控制的全低压流程；第六代：规整填料上塔、全精馏制氩的全低压流程；第七代：内压缩流程。